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三甲基一氯硅烷

中文名称	三甲基一氯硅烷
英文名称	Chlorotrimethylsilane
中文别名	三甲基氯硅烷;TMCS
CAS RN	75-77-4
EINECS号	200-900-5
分子式	C₃H₉ClSi
分子量	108.6421
用　　途	可用于生产各种有机硅化合物，是生产六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料

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